Zestaw składa się z modułów UNHT i NST oraz mikroskopu optycznego sprzężonego z kamerą cyfrową, zamontowanych na platformie antywibracyjnej. Nanotwardościomierz UNHT umożliwia wykonywanie pojedynczych oraz seryjnych pomiarów przy użyciu obciążeń od
0,01 mN do 50 mN, z rozdzielczością 1 nN do max. głębokości 100 μm. Urządzenie wyposażone jest w głowicę pomiarową z wymiennymi wgłębnikami: Berkovich’a – długi/krótki, Vickers’a, sphero-conical diamond oraz ball ruby tip, mogącą pracować z referencją lub bez oraz w mikroskop optyczny sprzężony z kamerą cyfrową.
UNHT pozwala na precyzyjnie określanie mechanicznych własności takich jak twardość, moduł sprężystości, jak również wykonywanie badań procesów pełzania, zmęczenia i rozciągania powierzchni w skali nanometrycznej. Nanoscrach-tester (NST) służy do charakteryzowania własności mechanicznych powierzchni materiałów, cienkich warstw i powłok, np: adhezji, pękania, delaminacji i deformacji, twardości. Może być używany do różnych rodzajów powłok np.: nakładanych techniką PLD, plazmowych, w technologii półprzewodników i powłok o własnościach optycznych. Nano-scrach tester umożliwia określenie parametrów: siły tarcia, głębokości penetracji wgłębnika, siły zużycia i in. Pomiar wykonywany jest poprzez wykonywanie rysy przy użyciu diamentowego ostrza, które działa na materiał z określoną zadaną siłą.