Sposób wytwarzania bezuzwojeniowej indukcyjności do układów scalonych
Nr zgłoszenia: P.399392
Twórcy: TOMASZ NORBERT KOŁTUNOWICZ (PL), PAWEŁ ZHUKOWSKI (PL), JULIA FEDOTOVA (BY), ALEXANDER FEDOTOV (BY)
Sposób wytwarzania bezuzwojeniowej indukcyjności do układów scalonych, charakteryzuje się tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym warstwy materiału o składzie (FeCoZr)0,28[Pb0,81Sr0,04(Na0,5Bi0,5)0,15(Zr0,575Ti0,425)O3]0,72 w czasie od 130 do 140 minut, w atmosferze argonu i tlenu w zakresie ciśnień argonu od 10-2 Pa do 10-1 Pa, i tlenu od 10-3 Pa do 10-2 Pa, na płytkę podłożową z krzemu, poddaną wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu scalonego.
Nazwa patentu:
Sposób wytwarzania bezuzwojeniowej indukcyjności do układów scalonych
Udostępnij
Drukuj
