Kompleksowa analiza próbek przewodzących i nieprzewodzących obejmująca obrazowanie morfologii powierzchni z jednoczesną analizą jakościową oraz ilościową składu chemicznego, realizowana za pomocą skaningowego mikroskopu elektronowego Hitachi SU3500 wyposażonego w system detekcji EDS. Urządzenie umożliwia wysokorozdzielczą obserwację ciał stałych przy maksymalnej rozdzielczości: detektor SE – 7 nm przy napięciu 3 kV, detektor BSE – 10 nm przy 5 kV. Dla próbek o wysokim kontraście, rozdzielczość spektralna wynosząca 3 nm przy 30 kV. Tryb pracy ze zmiennym ciśnieniem umożliwiającym pomiary w zakresie od 10-3 Pa do 650 Pa. Możliwość obrazowania 3D.

Po odpowiednim przygotowaniu próbki, możliwe jest wykonanie przekroju poprzecznego z orientacyjnym pomiarem grubości obrazowanych warstw i powłok.

Zintegrowany system EDS pozwala na jakościowe i ilościowe oznaczanie składu pierwiastkowego punktowo oraz powierzchniowo. Możliwość utworzenia mapy rozkładu pierwiastków chemicznych w badanym obiekcie.