Nanoszenie cienkich warstw metalicznych metodą napylania próżniowego przy prożni bazowej 10-9 hPa. Rozmiary warstw od monowarstwy do warstw mikrometrycznych. Możliwość nanoszenia układów wielowarstwowych złożonych z różnych materiałów (Cu, Ag, Au, Ni). Wygrzewarka próżniowa o próżni bazowej 10-7 hPa wyposażona w stolik grzewczy. Zastosowane przepusty próżniowe umożliwiają podłączenie próżniomierzy niskiej i wysokiej próżni, termopary oraz zasilanie stolika grzewczego. Napylarka wysokopróżniowa umożliwia osiągnięcie wyjątkowo wysokich poziomów próżni, na poziomie rzędu 10–9 hPa. Układ zawiera elementy umożliwiające nanoszenie warstw metalicznych na podłoża krzemowe, takie jak przesłony, ceramiczne wyparowniki i kwarcowy monitor grubości. Dodatkowo, elementy optyczne, takie jak okno szklane i zwierciadła korygujące, pozwalają na skierowanie wiązki lasera układu optycznego do wnętrza komory. Do obsługi układu służy program, który analizuje obraz pochodzący z detektora i steruje położeniem zwierciadła obrotowego. Dodatkowo umożliwia wprowadzenie dowolnych parametrów układu pomiarowego (ogniskowa soczewki, długość skanu i liczba punktów w skanie, długość ramienia obracającego zwierciadło czy skok śruby mikrometrycznej). Dzięki dodatkowej karcie pomiarowej możliwy jest również odczyt temperatury próbki podczas osadzania warstwy i wygrzewania.